□記者 胡瀝中 劉飛躍 通訊員 劉曉 報道　　本報濟南訊 4月26日，由中科院高能物理研究所濟南研究部（濟南中科核技術研究院）孵化的第一家科技型公司——銳影檢測科技（濟南）有限公司（下稱銳影檢測）自主研發的全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備，正式亮相功率半導體行業聯盟第八屆國際學術論壇。該設備依托X射線計算機層析成像（CL）技術和先進的缺陷智能檢測軟件算法，為IGBT模塊封測提供了全新的無損檢測解決方案?！　榻B，IGBT（絕緣柵雙極晶體管）是一種功率半導體器件，俗稱電力電子裝置的“心臟”，廣泛應用于高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網、航空航天等領域。其在運行過程中會產生大量的熱，焊料層的氣孔會嚴重影響散熱的效率，可能導致安全事故，因此需要對氣孔率嚴格控制?！　　癐GBT模塊具有兩個焊料層，普通的二維X光成像會將兩層混在一起，無法區分。有些大功率的模塊帶有散熱柱，會嚴重影響氣孔檢測的準確率。另外，超聲檢測要將模塊浸入到水中，檢測過程復雜，難以實現在線檢測?！变J影檢測總經理、中科院高能物理研究所副研究員劉寶東博士介紹?！　′J影檢測自主研發的全自動IGBT缺陷X射線三維檢測設備則有效解決了雙層焊料疊加及散熱柱導致X射線2D檢測不準確的問題，實現了IGBT模塊的全自動在線無損檢測，數據實時反饋存儲，大大提高了檢測效率，保障了IGBT模塊的產品品質。